Сухие вакуумные насосы типа Рутса (серии ESR) представляют собой многоступенчатые двухроторные агрегаты, характеризующиеся сверхвысокой коррозионной и газохимической устойчивостью рабочих деталей. В их состав входит в качестве одной из ступеней, повышающей скорость откачки, бустерный насос Рутса, который включает два ротора, синхронно вращающиеся в противоположных направлениях с гарантированным зазором между ними. За счет отсутствия трения между роторами, число оборотов которых составляет от 1500 до 3000 в минуту, работа происходит, практически, бесшумно и без вибрации.
Насосы серии ESR характеризуются современной конструкцией с приводом от двигателей постоянного тока с системой интеллектуального управления. Последняя обеспечивает настройку агрегата на различные режимы работы с заданной величиной вакуума и переход в режим ожидания при перерывах в работе. Камера и все рабочие детали изготовлены из никелевой нержавеющей стали, состав которой защищен патентом. Производительность (быстрота действия) насосов составляет от 78 до 2760 м3/час. Несмотря на все преимущества, они имеют невысокую стоимость и отличаются экономным расходом электрической энергии, воды для охлаждения и азота для очистки камеры после откачки токсичных, высокоагрессивных и загрязненных газовых смесей. После откачивания нейтральных газов очистка азотом не нужна.
Вакуумные насосы EBARA серии ESR имеют широкую область применения в особых технологиях таких, как термическая обработка в вакууме, нанесение сверхтонких покрытий, осаждение нанопленок, ионно-плазменное травление, вакуумирование гермокамер значительных размеров для подготовки космонавтов.
 |
 |
| ESR80WN | |
Достоинства вакуумных насосов серии ESR:
- удобная мобильная конструкция с хорошим дизайном;
- небольшая цена и пониженные расходы на обслуживание;
- длительный безотказный ресурс работы;
- большой диапазон регулирования производительности в соответствии с требованиями потребителя;
- простота наладки и эксплуатации;
- экологическая чистота, низкий уровень шума и вибрации;
- качественное исполнение насосов EBARA доказано многими международными сертификатами.
Технические параметры
| Характеристики / Модель | ESR20N | ESR30N | ESR80WN | ESR200WN | ESR300WN | ESR500WN |
| Производительность (быстрота действия), м3/час | 78 ‒ 120 | 90 ‒ 180 | 240 ‒ 600 | 600 ‒ 1200 | 900 ‒ 1800 | 2760 |
| Предельное остаточное давление, мбар | 2.0х10-2 | 6.7х10-3 | 2.0х10-3 | 2.0х10-3 | 2.0х10-3 | 2.0х10-3 |
| Тип соединительного фланца | KF 40 | KF 50 | KF 50 | ISO-K 100 | ISO-K 100 | ISO-K 100 |
| Наибольшая потребляемая мощность, кВт
(при наименьшем остаточном давлении) |
2.8 (0.7) | 3.5 (1.7) | 4.5 (1.0) | 5.6 (2.1) | 7.5 (2.9) | 7.9 (3.1) |
| Затраты охлаждающей воды, л/мин | 2.0 ‒ 8.0 | 2.0 ‒ 8.0 | 2.0 ‒ 8.0 | 2.0 ‒ 8.0 | 3.5 ‒ 8.0 | 3.5 ‒ 8.0 |
| Затраты азота на очистку, л/мин | 2 ‒ 12 | 2 ‒ 12 | 2 ‒ 12 | 2 ‒ 12 | 2 ‒ 12 | 2 ‒ 12 |
| Габариты, ДхШхВ, мм | 695 х 280 х 370 | 760 х 400 х 488 | 720 х 380 х 705 | 850 х 380 х 705 | 825 х 460 х 880 | 975 х 460 х 880 |
| Масса, кг | 105 | 190 | 200 | 250 | 390 | 500 |
Выбор типа и модели насоса за Вами. Если появились затруднения, звоните, приходите, пишите на электронную почту. Наши менеджеры к Вашим услугам. Проконсультируют, расскажут об особенностях каждого насоса, помогут выбрать нужную модель и оформить заказ.
