Вакуумные насосы EBARA серии EST представляют безмасляные (сухие) многоступенчатые агрегаты предварительного разрежения, предназначенные для работы с предельно засоренными субстанциями, содержащими микродисперсные загрязнения. В корпусе насоса размещен винтовой двухступенчатый оригинальный механизм, конструкция которого защищена патентами. В сочетании с бустерным (от англ. booster ‒ усилитель) вакуумным двухроторным насосом Рутса, агрегат позволяет эффективно откачивать различные загрязненные газовые смеси при изменении производительности (быстроты откачки) в значительных пределах от 60 до 3000 м3/час. В форвакуумном бустерном насосе два фигурных ротора (в виде восьмерок) при вращении и захождении друг в друга с минимально возможным зазором подают газовую среду в заданном направлении к основному механизму двухступенчатого агрегата.
Все рабочие узлы насосного агрегата серии EST выполнены из особого нержавеющего сплава NiRezist, химический состав которого запатентован. Его особенностью является повышенное содержание никеля Ni, что дает возможность длительно работать с предельно агрессивными веществами и газами. Это позволяет использовать такие насосы в вакуум-процессах с большим уровнем засорения, например, при химическом осаждении частиц из газовой фазы (CVD), осаждении при низком давлении (LPCVD), плазменно-химическом осаждении газовой фазы (PECVD) и других.
Достоинства сухих насосов серии EST:
- простая компактная конструкция с отличным дизайном;
- невысокая стоимость владения и продолжительный период эксплуатации при минимальных затратах на техническое обслуживание;
- надежность работы с агрессивными и загрязненными средами, включающими твердые микрочастицы;
- возможность создания сухого вакуума для «чистых» техпроцессов, не допускающих даже микроскопической взвеси масла в рабочей камере;
- низкая шумность и минимальный уровень вибрации;
- полное соответствие экологическим нормам.
 |
 |
| EST300WN | EST500WN |
Технические параметры
| Характеристики/Модель | EST10N | EST25N | EST100WN | EST200WN | EST300WN | EST500WN |
| Производительность (быстрота действия), м3/час | 60 | 150 | 300 ‒ 600 | 600 ‒ 1200 | 900 ‒ 1800 | 1500 ‒ 3000 |
| Граничное остаточное давление, мбар | 2.7х10-2 | 2.0х10-2 | 4.0х10-3 | 4.0х10-3 | 4.0х10-3 | 4.0х10-3 |
| Тип соединительного фланца | KF 40 | KF 40 | KF 50 | ISO-K 100 | ISO-K 160 | ISO-K 160 |
| Наибольшая потребляемая мощность (при наименьшем остаточном давлении), кВт | 3.5 (2.3) | 5.5 (3.0) | 6.1 (3.2) | 7.8 (3.9) | 9.5 (4.5) | 11.3 (4.9) |
| Затраты охлаждающей воды, л/мин | 5 ‒ 8 | 5 ‒ 8 | 5 ‒ 8 | 5 ‒ 8 | 5 ‒ 8 | 5 ‒ 8 |
| Затраты азота на продувку, л/мин | 8 ‒ 11 | 8 ‒ 10 | 14 ‒ 17 | 14 ‒ 17 | 14 ‒ 17 | 17 ‒ 19 |
| Габариты, ДхШхВ, мм | 1100 х 410 х 532 (735) | 1140 х 410 х 531 (701) | 1140 х 410 х 946 | 1140 x 410 x 946 | 1140 х 520 х 948 | 1140 x 520 x 948 |
| Масса, кг | 260 | 300 | 420 | 450 | 500 | 550 |
Наличие необходимых Вам сухих насосов, их стоимость и основные технические данные, можете узнать у наших менеджеров. Звоните, пишите, приходите. Теплый прием гарантируем!
