Вакуумные насосы EBARA серии PDV относятся к высокопроизводительным безмасляным винтовым насосам, предназначенным для создания предварительного чистого разрежения в замкнутых объемах. Нашли широкое применение в процессах производства новых полупроводниковых материалов, нанесения нанопокрытий, создания тончайших пленок, в фотолитографии, биомедицине, фармацевтике, при имитации условий разреженного воздуха в горах и верхних слоях атмосферы.
Конструктивно чистый вакуумный насос серии PDV выполнен в виде двух предельно сбалансированных винтов, вращение которых осуществляется в бесконтактном режиме и синхронизируется электромагнитной муфтой. Он оснащен встроенным жидкокристаллическим монитором, системой самодиагностики, газобалластным баллоном с обратным клапаном на выхлопе, что увеличивает его функциональные возможности по дистанционному управлению, предупреждению сбоев и незапланированных остановок, дает возможность работать с водородом и другими легкими газами, а также с влагосодержащими смесями. В корпусе размещены бесконтактные уплотнения, которые практически не подвержены износу при работе. Так как вращающиеся винты хорошо сбалансированы, работающий агрегат не имеет вибрации, а усилия, действующие на опоры качения, имеют незначительную величину. Период их работы с густой смазкой, заложенной на заводе-изготовителе, достигает 70 000 часов, что намного превышает ресурс работы подшипников многих других видов насосов.
Наиболее рационально использование насосов серии PDV в качестве форвакуумных в составе комплексов с высоковакуумными магниторазрядными, криогенными или турбулентными насосами, рядом с которыми даже минимальная вибрация недопустима. За такими системами производства глубокого вакуума ‒ будущее в вакуумных технологиях.
 |
 |
| PDV250 | PDV500 |
Технические характеристики
| Характеристики/Модель | PDV250 | PDV250-GB | PDV500 | PDV500-GB |
| Быстрота действия, л/мин∗ | 230 | 230 | 500 | 500 |
| Быстрота действия с подключенным газовым балластом, л/мин∗ | ‒ | 200 | ‒ | 430 |
| Предельное остаточное давление, мбар∗ | 5.0х10-3 | 5.0х10-3 | 5.0х10-3 | 5.0х10-3 |
| Предельное остаточное давление с подключенным газовым балластом, мбар | ‒ | 2.0х10-2 | ‒ | 2.0х10-2 |
| Соединительный фланец | KF 25 | KF 25 | KF 40 | KF 40 |
| Тип охлаждения | воздушное | воздушное | воздушное | воздушное |
| Автоматический клапан газобалласта | ‒ | Подвод сухого воздуха или азота | ‒ | Подвод сухого воздуха или азота |
| Габаритные размеры, ДхШхВ, мм | 168 х 442 х 273 | 168 х 442 х 273 | 185 х 467 х 305 | 185 х 467 х 305 |
| Масса, кг | 15 | 15 | 20 | 20 |
∗ — Значение приведено для воздуха. В случае откачки иных газов (в том числе легких) значение может отличаться от приведенного.
Преимущества вакуумных насосов EBARA серии PDV:
- прочная, удобная, переносная конструкция с воздушным охлаждением, обеспечивающая работу без вибрации и шума;
- невысокая стоимость, низкие эксплуатационные затраты на обслуживание и диагностику;
- отсутствие в насосе трущихся частей, минимальный износ уплотнений и подшипников;
- высокая надежность и самый длительный период работы без ремонта среди форвакуумных насосов;
- стабильное функционирование за счет встроенного стабилизированного источника постоянного тока при аварийных ситуациях в питающей сети, колебаниях силового напряжения;
- возможность удаленной работы по заданной на дисплее программе с предупреждением сбоев и отказов благодаря системе самодиагностики;
- экологическая чистота и безопасность обслуживания.
Специалисты концерна EBARA много лет занимаются конструированием и изготовлением насосов винтового типа. Первоначально они предназначались для перекачки загрязненных субстанций. Насосы серии PDV проектировались для эксплуатации с чистыми газами, но неприхотливость в эксплуатации и большая производительность позволила применять их для перекачки влагосодержащих и агрессивных смесей, включающих микроскопические твердые отходы производства полупроводников.
Вакуумные насосы, благодаря отсутствию трущихся поверхностей внутри корпуса, износа бесконтактных уплотнений и потерь на трение, повсеместно заменяют морально и физически устаревшие спиральные и ротационно-лопастные насосы. Если Вам необходимы надежные производительные вакуумные насосы, в которых нечему ломаться, которые не нуждаются в каждодневном уходе и ежемесячной смене уплотнений, обратите внимание на описанные выше насосы серии PDV. Наши менеджеры помогут выбрать и заказать оптимальную марку, а специалисты подключат приобретенный насос и проконсультируют по всем возникшим вопросам.
