Концерном EBARA создана усовершенствованная серия EV-M сухих вакуумных насосов с меньшими габаритными размерами и улучшенными техническими показателями. Они имеют на 50% уменьшенный расход электроэнергии в сравнении с предыдущей серией EST благодаря приводу от современных бесщеточных двигателей постоянного тока с увеличенным крутящим моментом. Предназначены для откачивания агрессивных и ядовитых сред таких, как трехфтористый азот NF3, фтористый водород HF, хлор Cl2, дихлорсилан SiH2Cl2 и подобных. Отличаются увеличенной скоростью подачи водорода H2, чем вакуумные насосы винтового типа.
Достоинства насосов серии EV-M:
- компактное удобное устройство с уменьшенной массой и габаритами;
- удобство удаленного регулирования и контроля за счет интеллектуальной системы управления;
- высокая надежность при пониженных затратах электроэнергии, воды для охлаждения и азота для очистки проточной части;
- регулировка производительности (быстроты действия) насоса в широких пределах путем изменения частоты вращения двигателя;
- экологическая чистота и безопасность обслуживания.
Технические параметры
Характеристики/Модель | EV-M20N | EV-M102N | EV-M202N | EV-M302N | EV-M502N | EV-M802N |
Производительность, м3/час | 108 | 600 | 1200 | 1620 | 3000 | 4800 |
Граничное остаточное давление, мбар | 5х10-2 | |||||
Затраты охлаждающей воды, л/мин | 3.0 ‒ 8.0 | 3.5 ‒ 8.0 | 4.0 ‒ 8.0 | 5.0 ‒ 8.0 | ||
Затраты азота на продувку, л/мин | 15 ‒ 18 | 16 ‒ 20 | ||||
Тип соединительного фланца | 40 KF | 100 ISO-K | 100 ISO-K | 100 ISO-K | 160 ISO-K | 160 ISO-K |
Наибольшая потребляемая мощность, кВт | 2.2 | 3.8 | 4.4 | 4.7 | 5.7 | 5.4 |
Масса, кг | 170 | 320 | 360 | 400 | 500 | 740 |
Габариты ДхШхВ, мм | 820x370x620 | 810x380x922 | 870x380x922 | 961x380x1000 | 1015x485x1040 | 1140x630x1105 |
Параметры электропитания | 200 ‒ 220 / 380 ‒ 440 В, 3 фазы, 50/60 Гц |
Если Вам необходимы надежные регулируемые форвакуумные насосы для откачивания ядовитых и агрессивных газов, обратите внимание на приведенное выше оборудование новой серии EV-M. Наши менеджеры помогут выбрать и заказать подходящую модель, а специалисты подключат приобретенный насос и обучат Вашего оператора.