Корпорация EBARA corporation в настоящее время является мировым брендом по выпуску качественных насосов и компрессоров для перекачки жидких и газообразных смесей с высокой производительностью, а также сложнотехнологичных устройств для полупроводниковой индустрии и солнечной вольтаики. Корпорация была создана 106 лет назад в городе Токио и на сегодняшний день является супергигантом, состоящим из нескольких подразделений, работающих в Японии и Италии.
Компания ООО «ЭмЭсЭйч Техно» является официальным представителем корпорации Ebara в России.
Гибридные турбомолекулярные насосы с металлокерамическими подшипниками качения и консистентной смазкой
 |
 |
 |
 |
| EBT220F | EBT450F | EBT800F | EBT2400F |
Турбомолекулярные насосы (ТМН) серии EBT-F (TG-F) представляют собой многоступенчатые осевые турбины, которые позволяют создавать и длительно поддерживать глубокий вакуум до 3,8Е-9 мм ртутного столба. К особенностям их работы и конструкции относятся следующие:
- возможность крепления в горизонтальном, вертикальном, наклонном положении;
- проектный период безотказной эксплуатации насосов составляет не менее 100 000 часов или 50 лет при номинальных нагрузках;
- не нужна периодическая смазка опор качения, которые имеют ресурс более 20 000 часов;
- компактность конструкции агрегата благодаря незначительным габаритам контроллера;
- малые расходы на электроэнергию и эксплуатационное обслуживание;
- возможность эффективного применения в промышленности, вплоть до создания жидкокристаллических экранов.
| Модель | Быстрота действия по N2, л/сек |
Предельное остаточное давление, мм рт. ст. |
Макс. потребляемая мощность, кВт |
Макс. форвакуумное давление, мм рт. ст. |
Миним. масса (зависит от типа фланца), кг |
Миним. время старта, мин |
| EBT70F (TG70F) | 70 | 3,8Е-9 | ‒ | 9 | 3 | 2 |
| EBT220F (TG220F) | 220 | 7,5E-9 | 0,59 | 2,6 | 5,5 | 1 |
| EBT240F (TG240F) | 240 | 7,5E-9 | ‒ | 5,3 | 7,3 | 7,5 |
| EBT350F (TG350F) | 350 | 7,5E-9 | 0,61 | 2,6 | 6 | 2 |
| EBT450F (TG450F) | 450 | 7,5E-9 | 0,61 | 2,6 | 7 | 2 |
| EBT800F (TG800F) | 800 | 7,5E-9 | 0,61 | 3,2 | 26 | 5,5 |
| EBT1100F (TG1100F) | 1100 | 7,5E-9 | 0,61 | 3,2 | 27 | 5,5 |
| EBT1400F (TG1400F) | 1400 | 7,5E-9 | 0,81 | 3,2 | 29 | 5,5 |
| EBT2400F (TG2400F) | 2400 | 7,5E-9 | 1,2 | 2 | 45 | 5 |
Гибридные турбомолекулярные насосы с интегрированными молекулярными ступенями и классическими подшипниками
Основные производственные возможности таких агрегатов:
- возможность эксплуатации при номинальных нагрузках не менее 100 000 часов;
- межтехнический сервис через 20 000‒30 000 часов работы;
- высокая степень откачки газов в широком диапазоне давлений;
- отпадает потребность в применении двухроторных форвакуумных насосов;
- допускается использование в агрегатах с засоренными и сильноагрессивными средами;
- агрегат оснащен вмонтированным средством прочистки опор качения и устойчиво работает в случае прорыва воздуха внутрь насоса;
- модели насосов после TG 553, имеют водяное охлаждение.
Гибридные турбомолекулярные насосы с полностью магнитным подвесом ротора (с магнитными подшипниками) серии EMT-F (TG-M)
 |
 |
 |
 |
| EMT390M | EMT900M | EMT1300M | EMT2400M |
Основные показатели гибридных ТМН:
- конструкция безмасляных насосов с ротором на магнитных подшипниках не требует периодических осмотров и обслуживания;
- монтаж агрегатов возможен в горизонтальном, вертикальном или наклонном положении;
- при отключении силового электропитания ротор насоса остается в состоянии магнитной левитации благодаря встроенному аккумулятору вплоть до остановки за счет электрического торможения;
- долговременный ресурс эксплуатации, так как система автоматического электромагнитного контроля предотвращает контакт ротора с неподвижными элементами устройства;
- управляющая система задает пуск ротора с малыми оборотами при атмосферном давлении, а после уменьшения величины последнего доводит число оборотов до максимальных значений с целью создания наибольших величин давления и производительности;
- безвибрационная работа агрегата благодаря постоянной балансировке ротора, происходящей в автоматическом режиме;
- компактность устройства и энергосберегающий режим работы.
| Модель | Быстрота действия по N2, л/сек |
Предельное остаточное давление, мм рт. ст. | Макс. потребляемая мощность, кВт |
Макс. форвакуумное давление, Па | Миним. масса (зависит от типа фланца), кг |
Миним. время старта, мин |
| TG390M | 340 | 7,5E-10 | 0,7 | 400 | 14 | 2 |
| TG420M | 400 | 7,5E-10 | 0,7 | 400 | 14 | 2 |
| TG900M | 900 | 7,5E-10 | 1,2 | 500 | 34 | 4 |
| TG1300M | 1300 | 7,5E-10 | 1,2 | 500 | 34 | 4 |
| TG2400M | 2400 | 7,5E-10 | 1,2 | 200 | 45 | 4 |
| TG3260M | 3200 | 7,5E-10 | 1,2 | 400 | 80 | 13 |
| TG3460M | 3400 | 7,5E-10 | 1,2 | 400 | 73 | 13 |
Гибридные турбомолекулярные насосы с полностью магнитным подвесом ротора для сверхвысоковакуумных применений с повышенной степенью сжатия легких газов
Насосы с полностью магнитным подвесом ротора и повышенной степенью сжатия легких газов ‒ лучший инструмент для получения сверхчистого и сверхвысокого вакуума!
Гибридные агрегаты обеспечивают качественное удаление легких газов при давлениях, соответствующих сверхчистому вакууму. Проблема применения универсальных ТМН с целью создания сверхвысоких разрежений вакуума состоит в том, что последние не позволяют достичь требуемой величины компрессии легких газов, особенно водорода, а основная часть газовыделений в разреженном пространстве принадлежит как раз водороду. Следует указать, что насосы серий TG-M и TG-MU имеют аналогичные преимущества.
Насосы последней серии получили применение в следующих отраслях науки и техники:
- в сверхчувствительных приспособлениях, позволяющих исследовать идеальные поверхности;
- в сверхчистовакуумных технологиях получения нанопленочных покрытий;
- при изучении параметров электронов с помощью синхротронов.
Гибридные турбомолекулярные насосы с полностью магнитным подвесом ротора (с магнитными подшипниками) серии TG-ML
Особенностями данных насосов являются ультранизкий уровень вибраций при работе и сверхчистый вакуум для нанотехнологий!
Такие насосы работают с ультранизкими вибрациями, а именно:
- при обычном монтаже величина вибросмещений составляет до 1,0 нм;
- при специальном монтаже на виброкомпенсирующей основе ‒ не превышает 0,1 нм!
Они обеспечивают выполнение техпроцессов при глубоком разрежении с высокой чувствительностью. Это достигается особенностями устройства насосного оборудования и гибкой программой регулирования числа оборотов ротора. Данные насосы применяются:
- в электронной микроскопии;
- в аналитических комплексах с глубоким вакуумом;
- при EUV-литографии;
- при научных испытаниях нанотехнологических покрытий;
- в просвечивающих электронных микроскопах.
Гибридные турбомолекулярные насосы с полностью магнитным подвесом ротора (с магнитными подшипниками) и системой управления температурой
Назначение гибридных насосных агрегатов с управляемой температурой:
- синтез в вакууме новых полупроводниковых материалов;
- создание жидкокристаллических экранов;
- изготовление мониторов различных типов.
Встроенное устройство контроля температуры дает возможность оптимизировать ее величину и регулировать потоки тепла, что приводит к уменьшению осаждения частиц в корпусе насоса. Это позволяет улучшить условия работы насоса в соответствии с жесткими требованиями производства полупроводниковых материалов и повысить надежность агрегата за счет более качественного нагрева рабочей зоны.
Гибридные турбомолекулярные насосы с полностью магнитным подвесом ротора (с магнитными подшипниками) для эксплуатации в условиях радиации
Насосы созданы для надёжной работы в жёстких условиях эксплуатации при наличии радиации!
Насосы для работы в условиях радиации перед началом эксплуатации подвергаются особым испытаниям при критических режимах радиации, например, путем облучения гамма-лучами. После завершения испытаний полная поглощенная доза облучения была равна 50 МГр. Такие насосы используются:
- при испытаниях военных и гражданских объектов ядерной физики;
- на атомных электростанциях, судах с ядерным реактором;
- в диагностической и лечебной технике, использующей радиоактивные изотопы;
- при исследованиях космического пространства.
Гибридные турбомолекулярные насосы с полностью магнитным подвесом ротора (с магнитными подшипниками) со встроенным блоком управления для работы в жестких условиях
Насосы специально спроектированы и изготовлены для работы в жестких условиях!
Данные ТМН с магнитными подшипниками удовлетворяют жестким требованиям самых сложных техпроцессов, имеют прочную рамную конструкцию, повышенную коррозионную стойкость, встроенные контроллер и блок питания. Все рукоятки управления, выключатель и экран размещены с одной стороны насоса. Это упрощает включение насоса, снижает его стоимость. Может работать в сильно запыленных помещениях, в случае повышенных температур, с загрязненными жидкостями при малом потреблении охлаждающей воды.
Характерными особенностями насосных агрегатов такого типа являются:
- оптимальное устройство турбины-ротора;
- компьютерный контроль за состоянием насоса;
- высокая производительность отвода газовых смесей при широком диапазоне разрежений (давлений);
- низкая величина шума и колебаний конструкции.
Отрасли использования:
- создание плоских панелей для солнечной вольтаики;
- производство стекол, линз, микроскопов;
- напыление тонкопленочных покрытий;
- изготовление датчиков утечки;
- моделирование условий безвоздушного космоса.
Наличие, цену и техническую характеристику насосов, подходящих Вам типов и моделей, можете узнать у наших менеджеров. Звоните, пишите, обращайтесь. Всегда рады помочь!
